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CKD喜开理 流量传感器・控制器这是一款用于压缩空气和氮气的超小型流量传感器。由于其重量轻和响应速度快,因此非常适合检查电子元件的吸附情况。工业:半导体制造工艺(后端工艺)
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CKD喜开理 流量传感器・控制器
这是一款用于压缩空气和氮气的超小型流量传感器。
由于其重量轻和响应速度快,因此非常适合检查电子元件的吸附情况。
工业:半导体制造工艺(后端工艺)
流量传感器和控制器
CKD喜开理 流量传感器・控制器
用于气体 Rapi Flow® 的微型流量传感器
[超小型轻量] (FSM-X系列) 通过分离传感器头实现超小型化
。
与常规体积相比,它比常规体积小 52%,而且重量轻,4G 最薄,为 8 毫米。
有两种类型的产品阵容:单个传感器头和流路块。
[非线性特性] (FSM-X系列)模拟
输出是非线性的,因此在低流量范围内的分辨率得到了提高。
[高速响应] (FSM-V 和 FSM-X 系列) 5 ms 的高速
响应实现了原本被放弃的设计
[双面测量] (FSM-V / FSM-X 系列) 由于
可以进行双向测量,因此非常适合吸附确认应用。
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