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HONDA本多电子 石英振动体清洗机实现低损伤和高清洁度的新一代清洁，具有小型化图案的晶圆，具有低损伤 ■ 超声波叠加在石英振动体上，清洗半导体晶圆通过化学溶液将超声波振动从石英振动器传播到半导体晶圆，接触点处的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。■ 实现清洁清洁，减少对半导体晶圆的损坏通过使用石英与化学溶液接触，与使用橡胶材料的设备（如填料）相比，不会出现橡胶的洗脱或磨损。
产品型号：W-357-1MQG-SKC厂商性质：经销商更新时间：2024-08-11访 问 量：264
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HONDA本多电子 石英振动体清洗机
实现低损伤和高清洁度的新一代清洁，具有小型化图案的晶圆，具有低损伤 ■ 超声波叠加在石英振动体上，清洗半导体晶圆通过
化学溶液将超声波振动从石英振动器传播到半导体晶圆，接触点处的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。
■ 实现清洁清洁，减少对半导体晶圆的损坏通过使用石英与化学溶液接触，与使用橡胶材料的设备（如填料）相比，不会出现橡胶的洗脱或磨损。
2006年，我们成为一家将石英振动超声波清洗装置商业化的公司。在这种方法中，超声波叠加在石英振动器上以清洁半导体晶圆。
与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学溶液的使用量，并且由于接液部件仅是石英玻璃和橡胶材料（如填料）不与液体接触，因此可以保持高水平的清洁度。
此外，通过根据用途准备石英振动器的形状，可以根据需要进行有效的清洁，例如低损伤清洁、大面积清洁以及斜面（端面）和缺口（晶圆端面的切口）的清洁。
HONDA本多电子 石英振动体清洗机
由于配备了换能器冷却功能，因此通过用气体（氮气等）冷却换能器，可以稳定连续运行，而不会出现频率波动。此外，通过冷却，温度不会突然变化，使用寿命长。
磨边后的抗蚀剂残留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的栅极电极清洗
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