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2024-10-28SAKAGUCHI坂口电热桌面ExLASER桌面ExLASER®世界上*先进的加热系统,带有激光平板表面的ExLASER®瞬时加热系统,已作为桌面类型推出。 由于其紧凑的设计,它可以用于研究和测试等各种场景。
联系电话:075529008188
SAKAGUCHI坂口电热桌面ExLASER
桌面ExLASER®
世界上*先进的加热系统,带有激光平板表面的ExLASER®瞬时加热系统,已作为桌面类型推出。 由于其紧凑的设计,它可以用于研究和测试等各种场景。
长处
紧凑型设计,桌面尺寸
由于加热和控制部件是一体的,因此可以进行台式测试。
激光加热即使在大气中也能直接加热
以低功耗实现高功率密度 (*)
如果需要真空加热,可以添加一个可选的腔室
功率密度:34W/㎠(ε=0.9)
加热直径为 1/2 英寸的晶圆 时(500W,10 秒后 850°C 或更高,20 秒后加热 100°C 或更低) |
在载物台上安装工件 | 激光加热图像 |
额定 | AC100V 15A以下 |
---|---|
激光功率 | 高达 50W |
加热气氛 | 大气层 |
加热区 | φ 13mm |
工作阶段 | φ 60mm(MAX) |
机身尺寸 | 高580mm×宽320mm×深470mm |
设备 | 辐射温度计、USB摄像头、PC |
* 透明基板不能直接加热。
SAKAGUCHI坂口电热桌面ExLASER
代理及优势品牌
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