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2024-10-28 SAKAGUCHI坂口电热ExLASER激光ExLASER激光®ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
产品型号：EXL-CT-010-DS55厂商性质：经销商更新时间：2024-08-10访 问 量：259
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SAKAGUCHI坂口电热ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
长处
可实现超快的温度上升和下降。
一次均匀加热 2 英寸基板
只有被加热的物体才能直接加热。
可根据工艺进行温度控制
在不加热大气的情况下节能
应用实例
MBE设备的基板加热
晶圆退火（SiC、GaAS等）
可以对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）
日本原子能机构 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）
使用 EXL-CT-010DS55，对安装在真空室中的样品进行激光加热。 温度分布是从样品的背面（与激光照射表面相反）测量的。
温度分布蓝宝石衬底温度分布
（激光功率：1000W）
蓝宝石
衬底温度快速升降（平均衬底温度）（激光功率：1000W）
温度分布金属板温度
分布
（激光功率：86W焦点）
温度倾斜图 金属板的温度
| 型号 EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方式 | 直接型 | 机身尺寸 | 高 625mm ×宽 700mm ×深 320mm |
| 激光功率 | 高达 1kW | 附属品 | 专用冷水机组 |
| 激光波长 | 808纳米 | 额定 | 主机：1P200V20A 冷水机：1P200V15A |
| 激光几何形状 | 广场 | ||
| 光学（均匀性） | 均质机 （±5%） | 言论 | JST原创建模 开发产品（FY17） |
| 加热区 | □ 55mm | ||
| 工作距离 | 400毫米~ | ||
* 以上为标准规格。 可根据客户要求进行更改。
真空室
温度控制单元 ・辐射温度计 ・数字指示控制器
・红外线传输窗口
PCB 支架（用于 2 英寸板）
用于组合专用基板支架的光学系统（与□10mm板兼容）
各种衬底（蓝宝石、硅、砷化镓等）
SAKAGUCHI坂口电热ExLASER激光
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