SAKAGUCHI坂口电热带热电偶的晶圆 （T/C）

SAKAGUCHI坂口电热带热电偶的晶圆 （T/C）

带热电偶的晶圆 （T/C）

该晶圆配有热电偶，用于测量半导体制造设备和辅助设备的开发和检查中的温度分布。

长处

它是测量晶圆温度分布和控制温度的理想选择。

所有产品均按订单生产。

用

• 制造设备和辅助设备（热板、基座等）的开发和检查

• 设置制造条件

• 监控制造过程

• 提高生产率（优化周期时间等）

标准规格（所有定制产品）

请注意：
1） 不要对热电偶尖*施加超过 2.5N （0.25kgf） 的力。
1）在还原性或氧化性气体气氛中使用时，应事先检查材料的耐久性。

SAKAGUCHI坂口电热带热电偶的晶圆 （T/C）

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