SANKO三高膜厚计探头是一种用于测量和监控薄膜厚度的实验设备,广泛应用于半导体、显示器、太阳能电池等领域。通过探头实现薄膜厚度的实时测量与监控,为用户提供高精度的厚度数据。
一、测量原理
采用传感器技术,如光学传感器、超声波传感器等,用于实时监测薄膜的厚度变化。通过对厚度-时间曲线进行分析,可以获取薄膜厚度的实时数据。具体来说,测量原理可以表示为:
1.厚度-时间曲线:在薄膜生长过程中,厚度传感器实时监测薄膜的厚度变化,形成厚度-时间曲线。该曲线反映了薄膜在生长过程中的厚度变化情况。
2.薄膜厚度:通过对厚度-时间曲线进行分析,可以计算出薄膜的实时厚度和生长速率等参数。这些参数反映了薄膜的厚度特性。
二、SANKO三高膜厚计探头主要有以下几种类型:
1.光学探头:光学探头采用干涉原理,通过分析薄膜表面反射的光束干涉条纹,测量薄膜的厚度。光学探头适用于测量透明薄膜的厚度,具有高精度和高速度的特点。
2.超声波探头:超声波探头采用超声波反射原理,通过分析超声波在薄膜中传播和反射的情况,测量薄膜的厚度。超声波探头适用于测量各种薄膜的厚度,具有高精度和高稳定性的特点。
3.电阻探头:电阻探头采用薄膜电阻变化原理,通过分析薄膜电阻随厚度变化的情况,测量薄膜的厚度。电阻探头适用于测量导电薄膜的厚度,具有高精度和高灵敏度的特点。
三、应用
广泛应用于半导体、显示器、太阳能电池等领域,为用户提供关于薄膜厚度的详细信息。
在半导体领域,可以用于测量晶圆上的薄膜厚度;
在显示器领域,可以用于测量液晶显示器中的薄膜厚度;
在太阳能电池领域,可以用于测量电池片上的薄膜厚度。
SANKO三高膜厚计通过探头实现薄膜厚度的实时测量与监控,为用户提供高精度的厚度数据。